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GS—250型痕量气体分析质谱计的特点及应用
GS—250型痕量气体分析质谱计的特点及应用
作者:
毛福明
邵力为
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
痕量气体分析
质谱计
气体分析
摘要:
氢、氮、氧、氩等气体的纯度分析技术已成为一门专业分析技术,它在冶金、半导体、集成电路、电真空、化工和医学等部门有着广泛的用途。分析手段和水平的提高将推动这些部门生产效率的提高和产品质量的提高,目前超纯气体纯度的分析,以色谱仪为主,少数场合应用了色谱-质谱联用仪。近来开始注重用电子碰撞离子源的质谱仪器进行气体纯度分析,它具有快速和全成分分析的优点,并
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篇名
GS—250型痕量气体分析质谱计的特点及应用
来源期刊
分析测试仪器通讯
学科
工学
关键词
痕量气体分析
质谱计
气体分析
年,卷(期)
1994,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
19-23
页数
5页
分类号
TH84
字数
语种
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
痕量气体分析
质谱计
气体分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
分析测试仪器通讯
主办单位:
中国分析测试协会
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-2750
CN:
开本:
16开
出版地:
北京阜外百万庄路26号
邮发代号:
创刊时间:
1991
语种:
chi
出版文献量(篇)
267
总下载数(次)
2
总被引数(次)
342
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