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RF偏压电极对微波等离子体的影响
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文献信息
| 篇名 | RF偏压电极对微波等离子体的影响 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微波等离子体 rf鞘 鞘振荡 射频偏压电极 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 25-29,19 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TL612.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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