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制备长寿命碳剥离箔的重复性好的混合离子束溅射方法的…
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文献信息
| 篇名 | 制备长寿命碳剥离箔的重复性好的混合离子束溅射方法的… | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 混合离子束 溅射 碳剥离箔 制备 箔 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 62-65 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TN305.92 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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