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文献信息
篇名 铁基材料上动态离子束混合Ta膜的微观分析
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 物理学
关键词 铁基材料 钽薄膜 动态离子束混合 微观分析
年,卷(期) 1995,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 158-162
页数 5页 分类号 O484.5
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铁基材料
钽薄膜
动态离子束混合
微观分析
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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