硒化铅光导型红外探测器的光刻技术

• 作者: 程开富
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 硒化铅 光导型 红外探测器
• 年，卷（期）: 1995,（1）
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TN215

摘要

本文着重介绍硒介铅光导型红外探测器的光刻过程和工作原理。