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非晶态碳膜a—C:H的结构研究
非晶态碳膜a—C:H的结构研究
作者:
吴召平
张干城
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非晶态
碳膜
沉积参数
掺杂
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文献信息
篇名
非晶态碳膜a—C:H的结构研究
来源期刊
上海建材学院学报
学科
物理学
关键词
非晶态
碳膜
沉积参数
掺杂
年,卷(期)
1995,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
374-378
页数
5页
分类号
O484.1
字数
语种
中文
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非晶态
碳膜
沉积参数
掺杂
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研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
上海建材学院学报
主办单位:
上海建材学院
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
CN 31-1549/TU
开本:
16开
出版地:
上海武东路100号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
354
总下载数(次)
3
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