作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
六方氮化硼原子层薄膜的制备研究
六方氮化硼
氢气流量
前驱物温度
低压化学气相沉积
无碳氮化硼前驱体研究进展
氮化硼
无碳前驱体
聚硼吖嗪
聚氨基环硼氮烷
氨硼烷
有机前驱体法制备氮化硼陶瓷研究进展
有机前驱体;硼吖嗪;三氯化硼;三氯环硼氮烷;氮化硼
金刚石基底上氮化硼薄膜的场发射特性研究
氮化硼薄膜
场发射特性
磁控溅射
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 利用硼等离子体化学输运制备氮化硼薄膜
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 工学
关键词 氮化硼 等离子体 化学输送 薄膜
年,卷(期) 1996,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5-6
页数 2页 分类号 TB43
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1996(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
氮化硼
等离子体
化学输送
薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
月刊
四川省成都市432信箱
出版文献量(篇)
864
总下载数(次)
2
论文1v1指导