海外新品超微细技术

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篇名	海外新品超微细技术
来源期刊	技术开发与引进	学科	工学
关键词	纳诺技术超微细技术微电子技术
年，卷（期）	1996,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	32
页数	1页	分类号	TH-39
字数		语种	中文
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