微机械传感器的新进展

• 作者: 陈宏 鲍敏杭
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械加工 微机械传感器 微机行器
• 年，卷（期）: 1996,（1）
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TP212

摘要

微机械加工技术在微执行器方面的应用最引入注目，但迄今从微机技术发展中得到最大好处的仍是传感器，在微机加工技术的推动下，微机械传感器，特别是力敏传感器获得了很大的发展，压力传感器获得了很大的发展，压力传感器继续扩大市场并向高性能化方向发展，加速度传感器已商品化，微机械陀螺产品也行将问世。而微机技术在其它各类传感器中的应用例子则比比皆是。本文将结合实际综述国内外微机械力敏传感器的进展。