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团粒束沉积：团粒束源的最佳化
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文献信息
| 篇名 | 团粒束沉积：团粒束源的最佳化 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 团粒束沉积 团粒束源 薄膜工艺 | ||
| 年，卷（期） | 1996,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 68-73 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TB43 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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