EH系列水性石英晶体研磨液

• 作者: 周国英 赵小甫
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体 研磨液 EH系列石英晶体
• 年，卷（期）: 1997,（4）
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TM229.1

摘要

本文介绍了两种国内最新研制成功的水性石项晶体研磨液，ＥＨ－０５型可用着普通自来水稀释３０倍使用于３Ｂ，４Ｂ，６Ｂ型研磨机。ＥＨ－２０型可悬浮Ｗ１４－Ｗ４０号大粒径磨料，完全替代ＰＣ油。用于６Ｂ，９Ｂ型研磨机，使用时可加普通自来水一倍稀释。０

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周国英		4	0	0.0	0.0
2	赵小甫		1	0	0.0	0.0