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剂量率
转移特性
阈值电压
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用低能金属离子辐照处理表面
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 工学
关键词 金属离子 离子辐照 表面处理
年,卷(期) 1997,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 4-5
页数 2页 分类号 TG174.442
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金属离子
离子辐照
表面处理
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