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中等分辨率投影光刻装置
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文献信息
| 篇名 | 中等分辨率投影光刻装置 | ||
| 来源期刊 | 计算机与信息处理标准化 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 平板显示器 显示器 投影光刻装置 中等分辨率 | ||
| 年，卷（期） | 1997,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 59 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TN873.91 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
平板显示器
显示器
投影光刻装置
中等分辨率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
计算机与信息处理标准化
主办单位：
华北计算技术研究所
出版周期：
季刊
ISSN：
1002-8307
CN：
11-2302/TP
开本：
出版地：
北京619-32信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
262
总下载数（次）
2
总被引数（次）
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