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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 在碳氟化合物等离子体中原子团的测量
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 碳氟化合物等离子体 原子团 测量 IRLAS
年,卷(期) 1997,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-18
页数 2页 分类号 O536
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节点文献
碳氟化合物等离子体
原子团
测量
IRLAS
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等离子体应用技术快报
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