作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
浅谈高质量专利
高质量
专利
评价体系
中国超深层大气田高质量开发的挑战、对策与建议
超深层
常规天然气
大气田
高质量开发
井位部署
合理配产
钻完井技术
储层改造技术
对策建议
探索科技出版高质量发展
图书出版
社会效益
能力提升
ESG表现与企业高质量发展
ESG表现
高质量发展
融资约束
分析师关注
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 开发高质量硅片外延新技术
来源期刊 有色与稀有金属国外动态 学科 工学
关键词 硅片 外延生长 薄膜 高温热处理
年,卷(期) 1998,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-7
页数 2页 分类号 TN304.12
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1998(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅片
外延生长
薄膜
高温热处理
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
有色与稀有金属国外动态
半月刊
北京市新街口外大街2号603室
出版文献量(篇)
498
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导