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甚高频带等离子体加工的新颖阻抗匹配方法
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文献信息
| 篇名 | 甚高频带等离子体加工的新颖阻抗匹配方法 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 等离子体加工 阻抗匹配 VHF带 溅射 PCVD | ||
| 年，卷（期） | 1998,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 73-80,F003 | |
| 页数 | 9页 | 分类号 | TN305.92 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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PCVD
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