超精密定位载物台

• 来源期刊: 长春光学精密机械学院学报：科技信息版
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密定位载物台 导体激励YAG激光器 干涉测量 光学系统 折射率
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 22-23
• 页数: 2页
• 分类号: TN248

摘要

日本光学计测研究室量子部，近年来利用以小型、大功率、稳定的光源著称的半导体激励YAG激光器，实现了干涉测量的新方法，该方法通过将半导体激励Nd：YAG激光(波长1064nm的红外光)