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文献信息
篇名 氧化工艺中推片气氛对栅氧化层完整性的影响
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 氧化工艺 推片气氛 栅氧化层完整性
年,卷(期) 1998,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 12-13
页数 2页 分类号 TN304.12
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研究主题发展历程
节点文献
氧化工艺
推片气氛
栅氧化层完整性
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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