快速热退火对InP(100)表面硫钝化的增强作用

• 作者: 李秀琼 段俐宏 谢小龙 陈维德
• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 化学钝化 热退火 X射线光电子谱
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 228-230
• 页数: 3页
• 分类号: TG1
• 语种: 中文

摘要

利用光荧光光谱(PL),俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子谱(XPS)对快速热处理(NH4)2Sx钝化InP表面进行研究,结果表明采取这种方法钝化后的InP表面荧光强度是未钝化的10倍.XPS结果表明热处理可以大大增强S-In结合,增强硫的钝化效果.最后对硫钝化增强的有关机理作了讨论.