射频等离子硫钝化GaAs（100）的表面特性

• 作者: 乔忠良 夏晓宇 曹曦文 薄报学 袁绪泽 许留洋 高欣
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频等离子体 光致发光 钝化 GaAs
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 556-560
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20163705.0556

摘要

采用射频等离子方法,对GaAs(100)衬底片表面进行干法硫等离子体钝化,旨在得到性能稳定含硫钝化层。样品经过360℃温度条件下的快速热退火,光致发光( PL)测试表明,钝化后的样品PL强度上升了71%。同时,钝化样品的稳定性测试结果表明,样品放置在实验室空气中30 d,其PL强度未出现明显变化,说明GaAs的等离子体干法硫钝化具有较好的性能稳定性。