聚焦离子束系统中图形发生及自动套准系统的研究

• 作者: 周永健 张恝恕 杜秉初 陈华
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 图形发生 自动套准
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 69-71
• 分类号: TN0
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.1998.05.017

摘要

本文描述了一种用于聚焦离子束系统的图形发生器和自动套准系统的研究和实现,并探讨了发展和改进的方向.该系统采用硬件实现扫描控制和坐标变换.在我们的实验条件下,实现了单场扫描2秒钟,套准计算4秒钟.该系统同样也适用于电子束曝光机系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜秉初	清华大学电子工程系	8	42	4.0	6.0
2	张恝恕	清华大学电子工程系	5	1	1.0	1.0
3	陈华	清华大学电子工程系	14	87	4.0	9.0
4	周永健	清华大学电子工程系	1	1	1.0	1.0