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述评：金属等离子体浸没离子植入和沉积
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文献信息
| 篇名 | 述评：金属等离子体浸没离子植入和沉积 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 离子植入 离子沉积 金属 等离子体 真空电弧 | ||
| 年，卷（期） | 1999,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 62-70 | |
| 页数 | 9页 | 分类号 | TG156.8 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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