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利用AC双磁控管阴极在大尺寸基体上进行反应性溅射电介质层
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文献信息
| 篇名 | 利用AC双磁控管阴极在大尺寸基体上进行反应性溅射电介质层 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 磁控管 反应性溅射 二氧化硅 薄膜 | ||
| 年，卷（期） | 1999,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 7-8 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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磁控管
反应性溅射
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等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
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四川省成都市432信箱
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864
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