VPS60型溅射离子泵电源电路剖析

• 作者: 刘爽 宁永功 成友才 杨忠孝
• 来源期刊: 四川轻化工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: VPS60型溅射离子泵 倍压整流 射极跟随器 对数放大器 跳闸
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 67-71
• 分类号: TM13
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1549.1999.04.018

摘要

详尽地分析了VPS60型溅射离子泵电源电路的工作原理将原电路整理简化为电源供给及高压测量电路,泵电流及泵真空压力测量电路、保护系统及遥控电路三大部分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘爽	电子科技大学材料分析中心	65	410	11.0	17.0
2	宁永功	电子科技大学材料分析中心	14	40	4.0	5.0
3	杨忠孝	电子科技大学材料分析中心	20	94	6.0	9.0