重力-弹力耦合驱动压电微电机研究

• 作者: 王立鼎 邵培革
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电微电机 重力-弹力耦合 运动学
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 65-70
• 页数: 6页
• 分类号: TM384
• 字数: 1892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.04.011

摘要

分析了重力-弹力耦合驱动压电微电机的机理并给出了其运动学模型.制作了转子直径为0.433mm的压电微电机并实验验证了运动学模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎	中国科学院长春光机所	5	58	3.0	5.0
2	邵培革	大连理工大学机械系	6	18	3.0	4.0