串联弯曲臂压电微电机机理初步研究

• 作者: 佟建华 王立鼎 邵培革
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 串联压电双晶片 压电微电机 机理
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 471-475
• 页数: 5页
• 分类号: TM301
• 字数: 1116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.05.009

摘要

把两片压电双晶片(PZT Bimorph)串联在一起,构成串联弯曲臂.一端固定,另一端自由时,在相位差为π/2的一定频率的方波信号驱动下,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹.以串联弯曲臂为驱动元件,可用来驱动与其端面相接触的转子转动,构成串联弯曲臂式压电微电机.本文将对串联弯曲臂的驱动机理进行分析,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上,研制了串联弯曲臂压电微电机的样机,并且对样机的性能参数进行测试,转速可以达到110rpm,输出转矩可以达到22.5μNm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎	大连理工大学微机电系统研究中心	130	1877	24.0	38.0
2	佟建华	大连理工大学微机电系统研究中心	7	19	3.0	4.0
3	邵培革	大连理工大学微机电系统研究中心	6	18	3.0	4.0