串联弯曲臂压电微电机驱动机理分析及实验研究

• 作者: 佟建华 刘冲 王立鼎 邵培革
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 串联弯曲臂 压电微电机 机理 实验
• 年，卷（期）: 2003,（18）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1600-1602
• 页数: 3页
• 分类号: TM384|TH703.8
• 字数: 1996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.18.024

摘要

把两片压电双晶片串联在一起,构成串联弯曲臂.一端固定,另一端自由时,在相位差为π/2的一定频率方波信号的驱动下,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹.以串联弯曲臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联弯曲臂式压电微电机.对串联弯曲臂的驱动机理进行了分析,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上,研制了直径为5 mm的串联弯曲臂压电微电机样机,对样机的性能参数进行了测试,转速可达325 r/min,转矩可以达到36.5 μN*m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘冲	大连理工大学机械工程学院	156	1345	17.0	30.0
2	王立鼎	大连理工大学机械工程学院	130	1877	24.0	38.0
3	佟建华		7	19	3.0	4.0
4	邵培革	大连理工大学机械工程学院	6	18	3.0	4.0