用于表面形貌测量的自动焦点跟踪方法

• 来源期刊: 华中师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌 非接触测量 聚焦探测 伺服控制
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 523-527
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.3
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器,该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其测量范围为500 μm ,分辨率可达3 nm ;详细地描述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用.