离子束刻蚀制作用于红外焦平面探测器的面阵石英微透镜

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何苗张新宇易新建赵兴荣

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篇名	离子束刻蚀制作用于红外焦平面探测器的面阵石英微透镜
来源期刊	红外与毫米波学报	学科
关键词
年，卷（期）	1999,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	97
页数	1页	分类号
字数	1069字	语种	中文
DOI	10.3321/j.issn:1001-9014.1999.02.001