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直接光CVD SiO2膜沉积速率的研究
直接光CVD SiO2膜沉积速率的研究
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | 直接光CVD SiO2膜沉积速率的研究 | ||
| 来源期刊 | 四川大学学报（自然科学版） | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 1999,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 1032 | |
| 页数 | 分类号 | ||
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | 10.3969/j.issn.0490-6756.1999.06.009 | ||
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四川大学学报(自然科学版)
主办单位：
四川大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
0490-6756
CN：
51-1595/N
开本：
大16开
出版地：
成都市九眼桥望江路29号
邮发代号：
62-127
创刊时间：
1955
语种：
chi
出版文献量（篇）
5772
总下载数（次）
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