金属有机物热分解法制备Bi4Ti3O12薄膜的工艺研究

• 作者: 姚熹 张良莹 杨银堂 王旭升
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MOD 钛酸铋 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文和技术报告
• 页码范围: 222-226
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.9
• 字数: 2377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.1999.02.021

摘要

由硝酸铋和钛酸丁酯原料出发,采用金属有机物热分解法(MOD)制备了铁电钛酸铋薄膜;对先体溶液进行了红外光谱和差热分析,研究了旋转甩胶工艺和烧结温度与膜厚的关系.由X射线衍射和扫描电子显微镜分析了薄膜的物相和断面形貌,得到:在450～650℃较低烧结温度下即可合成钛酸铋致密多晶薄膜.薄膜厚度随烧结温度增高而减小,在500～650℃范围内基本呈线性,温度每增高50℃膜厚减小约5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨银堂	西安电子科技大学技术物理系	420	2932	23.0	32.0
2	张良莹	西安交通大学电子材料研究所	59	646	15.0	22.0
3	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
4	王旭升	西安电子科技大学技术物理系	4	4	1.0	2.0