Sol-gel法制备Bi3.25La0.75Ti2.94Nb0.06O12铁电薄膜及其性能研究

• 作者: 任明放 张云峰 王华
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: Sol-gel法 铁电薄膜 BLTN 微观结构 性能
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究·分析·实验
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TM221
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8887.2008.02.008

摘要

采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)在p-Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Bi3.25La0.75Ti2.94Nb0.06O2(BLTN)铁电薄膜,研究了BLTN薄膜的晶相结构、表面形貌、铁电性能、介电性能和C-V性能.结果表明:所制备的BLTN薄膜具有单一的层状钙钛矿结构,且为随机取向;高于650℃退火处理的BLTN薄膜表面平整致密;铁电性能测试显示较饱和的电滞回线;当退火温度为650℃时,其剩余极化Pr和Ec分别为24.6μC/cm2和96.8 kV/cm,明显优于Bi3Ti4O12(BIT)薄膜的铁电性能;室温下,当测试频率为10kHz时,薄膜的介电常数为386,介电损耗为0.69%,具有良好的介电性能;C-V曲线为顺时针方向回滞,记忆窗口约为1.5V,可以实现极化存储.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任明放	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	29	138	6.0	10.0
2	王华	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	98	463	13.0	17.0
3	张云峰	桂林电子科技大学信息与通信学院	3	4	2.0	2.0