用原子力显微镜扫描测量金刚石刀具刃口半径

• 作者: 孙涛 董申 谭久彬
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石刀具 刃口半径测量 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 30-32
• 分类号: TG8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.1999.01.011

摘要

介绍了应用原子力显微镜(AFM)扫描测量超精密加工用金刚石刀具刃口半径的方法,给出了测量图象和测量结果.该方法可提高金刚石刀具刃口半径的测量精度,对进一步分析刃口参数对超精密加工表面质量的影响具有一定指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬		140	2284	28.0	42.0
2	董申		232	4378	35.0	50.0
3	孙涛		124	1024	17.0	23.0