微扰法在静电电子透镜容差计算中的适用性分析

• 作者: 王莉萍 程彬杰 胡康燕
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 微扰法 容差 偏心 椭圆度
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: O463.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.1999.05.002

摘要

对微扰法在电子光学系统容差计算中的适用性进行了分析.针对电极偏心和电极加工不圆这两种常见缺陷,研究了2个解析模型--偏心双圆筒电容器和共焦椭圆柱电极,推导了其电位分布的表达式.并用所编写的基于微扰法的计算软件,计算了相应的缺陷电极结构的电场分布.将数值计算结果与解析解对比,得到了微扰法的计算误差关于电极缺陷与尺寸比的变化曲线.结果表明,形位公差为1～3级时,微扰法的计算误差仅为10-4,对电子光学器件的研制具有实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王莉萍		15	18	2.0	3.0
2	程彬杰		7	16	3.0	3.0
3	胡康燕		1	0	0.0	0.0