微扰法在衍射光栅分析中的应用

• 作者: 燕宇杰 范丽晶 陈树强 马磊
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光栅 微扰法 衍射 RCWA
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 2046-2050
• 页数: 5页
• 分类号: O438.2
• 字数: 2888字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2016.09.003

摘要

在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中，严格耦合波分析法（Rigorous Coupled Wave Analysis， RCWA）方法计算耗时，占用内存比较大。本文将微扰法与RCWA相结合的算法应用于二维衍射光栅分析中，以提高其计算效率。求解非矩形光栅问题时，需将光栅做阶梯近似。通过RCWA求解参考层的本征值，其余层的本征值可通过微扰法得到。实验表明，微扰法满足计算精度要求，且计算效率也能得到提高。对于本文中的例子，当光栅的截断阶数选为12时，计算时间可以节省45％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范丽晶	电子科技大学物理电子学院	1	0	0.0	0.0
2	陈树强	电子科技大学物理电子学院	6	8	2.0	2.0
3	燕宇杰	电子科技大学物理电子学院	1	0	0.0	0.0
4	马磊	电子科技大学物理电子学院	2	2	1.0	1.0