形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵

• 作者: 丁桂甫 俞爱斌 周勇 徐东 王莉 蔡炳初
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 形状记忆合金薄膜 NiTi/Si复合膜 微驱动器 微泵
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 50-55
• 页数: 6页
• 分类号: TN271+.4
• 字数: 3764字
• 语种: 中文

摘要

形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵由一个可形变腔体和两个单向硅薄片阀组成.微驱动膜利用NiTi形状记忆合金薄膜相变时具有大的可回复应力和Si衬底膜的反偏置力,产生双向往复振动.采用图形化的NiTi薄膜作为热诱发相变的加热电阻,有效地提高了动态响应频率,同时降低了驱动功率.通过驱动结构的优化设计,增加了驱动位移和工作寿命.微泵采用Si表面和立体微加工工艺、金-硅共晶键合等技术制备.它的外形尺寸为6mm×6mm×1.5mm,最大输出流量为340μl/min,最高驱动频率为100Hz,往复振动次数大于4×107次.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周勇	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部重点实验室	35	473	12.0	21.0
2	王莉	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部重点实验室	85	773	14.0	24.0
3	徐东	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部重点实验室	23	187	6.0	13.0
4	蔡炳初	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部重点实验室	49	769	15.0	26.0
5	丁桂甫	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部重点实验室	60	503	12.0	19.0