X射线法测量ICF靶丸参数中表面轮廓法的应用

• 作者: 刘元琼 王明达 罗青
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: X射线法 ICF靶 表面轮廓法
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: TL619
• 字数: 1343字
• 语种: 中文

摘要

在ICF靶参数测量中,用接触X射线显微辐射照相法记录微球X射线图像,采用精密表面轮廓仪处理微球X射线图像,直接测量了单层微球壁厚.与光干涉法比较,两种方法测量结果相差小于0.3μm.