一种复杂图形的处理和扫描技术

• 作者: 刘伯强
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 算法处理 微细加工 矢量扫描 微机控制
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 24-27,7
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 1880字
• 语种: 中文

摘要

介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术,提出在一个大场中,分割成若干小场的扫描实用算法,完成各小场的定位及高速扫描硬件及软件结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伯强	山东工业大学自动化系	6	21	2.0	4.0