光栅衍射式同轴对准系统中影响对准精度的因素分析

• 作者: 刘业异 胡松 郭京平 郭黎 陈伟明
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 对准系统 精度 因素
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 45-50
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3163字
• 语种: 中文

摘要

对掩模,硅片同轴对准系统中影响对准精度的诸因素进行了理论分析,阐述了误差形成机理及相应的对策,以理论分析指导精度实验取得了±0.06μm(3σ)对准精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	刘业异	中国科学院光电技术研究所	13	173	7.0	13.0
3	陈伟明	中国科学院光电技术研究所	4	96	3.0	4.0
4	郭黎	中国科学院光电技术研究所	1	2	1.0	1.0
5	郭京平	中国科学院光电技术研究所	1	2	1.0	1.0