MPCVD纳米金刚石膜的微观结构及显微力学特性分析

• 作者: 刘玉龙 吕反修 唐伟忠 朱克 杨武保
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 表面形貌 显微力学特性
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: O485|TQ58
• 字数: 1610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2000.04.006

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积技术在光学玻璃衬底上制备了金刚石膜,利用原子力显微镜技术及显微力学探针研究了膜层的表面形貌及显微力学特性.结果表明,金刚石膜的晶粒尺寸小于100 nm,表面粗糙度小于10 nm,具有极高的显微硬度及弹性模量,能够满足光学材料表面的抗冲击、耐磨等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院北京科技大学材料科学与工程学院表面室	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院北京科技大学材料科学与工程学院表面室	106	860	16.0	21.0
3	刘玉龙	中科院物理所光物理开放实验室	9	23	3.0	4.0
4	杨武保	北京科技大学材料科学与工程学院北京科技大学材料科学与工程学院表面室	3	24	2.0	3.0
5	朱克	中科院物理所光物理开放实验室	1	5	1.0	1.0