MPCVD法纳米金刚石膜的制备及分析

• 作者: 于文秀 佟玉梅 吕反修 唐伟忠 杨武保
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MPCVD 纳米金刚石膜 拉曼光谱 红外光谱
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: O781
• 字数: 1996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.01.012

摘要

利用MPCVD方法在玻璃基片上成功的制备了非常光滑、致密均匀的纳米金刚石膜.沉积工艺分为两步:成核,CH4/H2=3%;生长,O2/CH4/H2=0.3:3:100;沉积过程中保持工作压力为4.0kPa,衬底温度500℃.拉曼、透射电镜、红外光谱、表面轮廓仪等的测试表明:膜层由纳米级金刚石晶粒组成,最大晶粒尺寸小于100nm,成核密度大于1011/cm2.成核面晶粒的点阵常数较大,表明存在较多缺陷,表面粗糙度小于2nm,在可见光区完全透明,红外光学性能接近金刚石单晶理论值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	佟玉梅	北京科技大学材料科学与工程学院	22	268	10.0	15.0
4	于文秀	北京科技大学材料科学与工程学院	2	36	2.0	2.0
5	杨武保	北京科技大学材料科学与工程学院	3	24	2.0	3.0