亚波长浮雕结构的红外抗反射研究

• 作者: 易新建 曾延安 陈四海 陈思乡
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 抗反射 亚波长结构 二元光学
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 页码范围: 471-474
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2905字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2000.06.016

摘要

基于等效媒质理论,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究.给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法.提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念.利用离子束刻蚀工艺技术,在Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案.测试结果表明,这种表面结构像单层抗反射膜一样,具有很好的增透效果,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率,而刻蚀深度则相当于镀层的1/4波长厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建	华中理工大学光电子工程系	20	146	7.0	11.0
2	陈思乡	华中理工大学光电子工程系	6	41	3.0	6.0
3	陈四海	华中理工大学光电子工程系	3	27	2.0	3.0
4	曾延安	华中理工大学光电子工程系	1	15	1.0	1.0