纳米ZrO2薄膜的制备与表征

• 作者: 吴广明 周斌 张勤远 李小丽 杨天河 沈军 王珏
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 水热法 纳米ZrO2薄膜 单斜相ZrO2 光学高反膜 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 96-99
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1543字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2000.01.019

摘要

用水热盐溶液水解法可合成含有单斜相晶态纳米ZrO2颗粒的ZrO2溶胶体.用匀胶法制备的纳米ZrO2薄膜厚度约160 nm,折光率为1.56.纳米ZrO2薄膜表面质量良好,无表面裂隙,台阶仪研究表明薄膜表面粗糙度算术差Ra=2.7 nm,均方根差Rq=3.7 nm.以ZrO2为高折射率膜层,碱催化的溶胶凝胶SiO2为低折射率膜层,制备了SiO2/ZrO2多层高反射率薄膜,10周期的SiO2/ZrO2多层膜系,在1.06 μm波段处透过率为1%,薄膜表面抗激光损伤阈值约15 J/cm2(1.06 μm,2.5 ns高功率激光作用下).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌		140	1582	22.0	31.0
2	沈军		199	2285	26.0	36.0
3	王珏		79	1255	22.0	32.0
4	吴广明		118	1607	22.0	32.0
5	张勤远	同济大学波耳固体物理研究所	9	90	5.0	9.0
6	杨天河		6	61	4.0	6.0
7	李小丽		3	16	2.0	3.0