用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究

• 作者: 王万录 秦友兰 肖金龙 董玉峰 赵作峰
• 来源期刊: 广西师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2 薄膜 Sol-Gel 工艺 XRD 分析 灵敏度
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TH832.1
• 字数: 2865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6600.2000.03.004

摘要

采用无机试剂(SnCl4.5H2O)为原料,用溶胶-凝胶 (Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜的电阻随掺杂和温度 的变化关系,并且用XRD对SnO2薄膜进行分析.结果表明,掺杂和热处理温度对薄膜晶 粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学应用物理系	109	849	16.0	22.0
2	肖金龙	重庆大学应用物理系	7	21	3.0	4.0
3	赵作峰	重庆大学应用物理系	5	52	4.0	5.0
4	秦友兰	重庆大学应用物理系	2	18	2.0	2.0
5	董玉峰	重庆大学应用物理系	1	6	1.0	1.0