微机电光调制器技术研究

• 作者: 张杰伟 柯菁华 茅惠兵 赖宗声 郑筱莉
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械系统 光调制器 平面硅加工工艺 机械式抗反射开关
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 45-49,44
• 页数: 6页
• 分类号: TP271
• 字数: 1486字
• 语种: 中文

摘要

调制器是光纤系统的重要器件.硅基微机械光调制技术使用常规硅平面工艺方法,制作较为简单,成本较低.同时,又具有高数据速率(几Mb/s)和宽频带(1.3μm～1.5μm)性能,满足日益增长的波分复用(WDM)全光网络发展的需要.讨论了有关硅基微机械式光调技术的基本原理和一些相关的制作方法,制作了多层膜光反射调制器样品