准分子激光直接刻蚀单晶硅研究

• 作者: 李晓莹 李铁军 王丽戈 苑伟政 马炳和
• 来源期刊: 西北工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 直接刻蚀 "冷加工"特性 热影响区 冲击破坏
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 491-495
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 3660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2758.2000.03.037

摘要

与传统的投影曝光微细加工方法相比,激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点.采用非稳腔的聚焦准分子激光(KrF,λ=248 nm)对单晶硅材料进行直接刻蚀,从微结构刻蚀的形状尺寸及加工过程的热效应等方面研究了准分子激光直接刻蚀单晶硅的加工特性.重点考察了加工中的热效应,研究表明准分子激光与被加工材料的相互作用并非完全基于非热机理,加工过程亦有热作用参与,进一步提出了准分子激光刻蚀加工的"热影响区"概念用以评价和解释准分子激光的"冷加工"特性.同时观察分析了脉冲激光对硅基底造成的破坏现象,讨论了冲击作用的成因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学飞行器制造工程系	33	167	7.0	11.0
2	苑伟政	西北工业大学飞行器制造工程系	70	351	10.0	14.0
3	李晓莹	西北工业大学飞行器制造工程系	13	77	5.0	8.0
4	李铁军		5	67	5.0	5.0
5	王丽戈		5	67	5.0	5.0