BaTiO3薄膜的Sol-gel法制备及其介电特性研究

• 作者: 宋世庚 沈良 贾锐 陶明德
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: BaTiO3薄膜 溶胶-凝胶法 介电性质
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TQ17
• 字数: 1470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2000.03.006

摘要

以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料,以乙二醇独甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法成功地配制出了BaTiO3溶胶,溶胶清晰稳定,保存时间长.并用XRD分析了沉积在Si(100)低阻硅片上的薄膜的结构,发现薄膜在600℃时结晶状态已良好.文中同时对薄膜的介电性质进行研究,并讨论了退火温度对薄膜介电性质的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾锐	中国科学院新疆物理研究所	29	160	6.0	11.0
2	陶明德	中国科学院新疆物理研究所	15	251	8.0	15.0
3	沈良	中国科学院新疆物理研究所	4	40	3.0	4.0
4	宋世庚	中国科学院新疆物理研究所	11	263	10.0	11.0