反射率极值法监控薄膜淀积的计算机模拟

• 作者: 张晓晖 杨光 汤玮 陈清明
• 来源期刊: 华中理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜淀积 反射率极值监控法 膜厚监控误差 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 2676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2000.11.017

摘要

利用计算机计算薄膜在反射率极值法监控的镀膜系统上淀积时监控片反射率的实时变化并模拟薄膜的实际淀积过程，得出设计膜系在一定制备工艺条件下所获得成膜的膜系结构，根据模拟结果计算的光学特性曲线与实际淀积出的成膜实测值相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈清明	华中理工大学激光技术国家重点实验室	20	56	4.0	6.0
2	张晓晖	华中理工大学激光技术国家重点实验室	2	8	2.0	2.0
3	汤玮	华中理工大学激光技术国家重点实验室	1	5	1.0	1.0
4	杨光	华中理工大学激光技术国家重点实验室	1	5	1.0	1.0