TiN薄膜的多元合金化强化

• 作者: 王国庆 蒙继龙 谢致薇 陈海燕
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多元合金化 离子镀 多元膜
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 135-139,129
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 字数: 4353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2000.04.029

摘要

多元合金化是强化TiN膜的有效途径之一，也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点，重点分析了性能对工艺的依赖关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒙继龙	华南理工大学机械电子工程系	56	634	15.0	23.0
2	王国庆	广东工业大学材料科学与工程系	32	465	12.0	21.0
3	陈海燕	广东工业大学材料科学与工程系	64	332	9.0	14.0
4	谢致薇	华南理工大学机械电子工程系	7	95	4.0	7.0