微夹钳研究的进展与展望

• 作者: 张培玉 李志军 武国英 郝一龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微夹钳 微机电系统 综述
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: ·综述·
• 页码范围: 292-296
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4315字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.03.022

摘要

微夹钳技术是微机械技术的重要内容之一。本文首先论述了微夹钳的应用背景，回顾了微夹钳技术研究的历史及现状；对目前国内外所研究的微夹钳进行了分类，并对其结构工艺与工作原理进行了分析；最后，对微夹钳技术的发展进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝一龙	北京大学微电子所	46	716	15.0	25.0
2	张培玉	北京大学微电子所	4	51	2.0	4.0
3	武国英	北京大学微电子所	13	274	6.0	13.0
4	李志军	北京大学微电子所	1	45	1.0	1.0